一種二極管用玻璃鈍化工藝

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201811441797.3 申請日 -
公開（公告）號 CN109616411A 公開（公告）日 2019-04-12
申請公布號 CN109616411A 申請公布日 2019-04-12
分類號 H01L21/306;H01L21/56;H01L21/67 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 吳強(qiáng)德 申請（專利權(quán)）人 嘉興實新企業(yè)服務(wù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 314001 浙江省嘉興市南湖區(qū)耀城廣場11、12幢11-301室-137
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種二極管用玻璃鈍化工藝，以玻璃為鈍化材料，包括晶圓涂附，晶圓切割，晶粒酸洗，配制玻璃漿用溶劑，配制玻璃漿，晶粒接點面鈍化，本發(fā)明有益效果在于，利用低溫緩慢酸洗腐蝕來保證切割面的正角，常規(guī)的開溝腐蝕會造成切割面的負(fù)角及一定角度的傾斜坡度，無法完成鈍化玻璃的包封，即使包封成功，良品率及可靠性能都會很低。