一種具備壓阻反饋的靜電MEMS微鏡

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202122768025.4 申請日 -
公開（公告）號 CN216434535U 公開（公告）日 2022-05-03
申請公布號 CN216434535U 申請公布日 2022-05-03
分類號 G02B26/08（2006.01）I 分類 光學(xué);
發(fā)明人 張程浩;陳巧;陳敏 申請（專利權(quán)）人 蘇州知芯傳感技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京經(jīng)緯專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 田凌濤
地址 215000江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)金雞湖大道99號蘇州納米城中北區(qū)23幢214室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及一種具備壓阻反饋的靜電MEMS微鏡，包括襯底（1）、鏡面（2）、定梳齒裝置、兩組動梳齒裝置和兩個壓阻模塊（3），通過壓阻模塊（3）上所設(shè)各金屬電極（6）與對應(yīng)扭轉(zhuǎn)梁（4）之間惠斯通電橋的建立與應(yīng)用，應(yīng)用惠斯通電橋所具備檢測應(yīng)力變化的能力，以及鏡面（2）的扭轉(zhuǎn)角度與扭轉(zhuǎn)梁（4）端部應(yīng)力間的正比關(guān)系，實(shí)現(xiàn)對扭轉(zhuǎn)梁（4）端部應(yīng)力變化情況的檢測，最終獲得MEMS靜電微鏡的鏡面（2）偏轉(zhuǎn)角度，擁有直接檢測高速旋轉(zhuǎn)鏡面（2）角度的優(yōu)點(diǎn)，整個設(shè)計(jì)方案具有實(shí)時(shí)、連續(xù)檢測微鏡鏡面（2）運(yùn)動狀態(tài)的優(yōu)點(diǎn)，同時(shí)整個結(jié)構(gòu)封裝尺寸小、結(jié)構(gòu)緊湊，更加節(jié)省成本。