一種二維MEMS微鏡

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202220234690.7 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN216956522U 公開（公告）日 2022-07-12
申請(qǐng)公布號(hào) CN216956522U 申請(qǐng)公布日 2022-07-12
分類號(hào) G02B26/08（2006.01）I 分類 光學(xué);
發(fā)明人 陳巧;張程浩;陳亮;劉洪瓊;劉運(yùn)兵 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 蘇州知芯傳感技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京經(jīng)緯專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 -
地址 215124江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)金雞湖大道99號(hào)蘇州納米城中北區(qū)23幢214室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種二維MEMS微鏡，該二維MEMS微鏡包括鏡面、框架、驅(qū)動(dòng)裝置、轉(zhuǎn)軸，采用框架懸置，內(nèi)部鍵合的結(jié)構(gòu)，該結(jié)構(gòu)可獲得更大的靜電力矩，使鏡面具有更大的轉(zhuǎn)角，且不需要電隔離槽，不需要多次梳齒刻蝕，該二維MEMS微鏡的生產(chǎn)工藝簡單，良品率高，生產(chǎn)成本低。