一種微鏡及其制造方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910406378.4 申請日 -
公開（公告）號 CN110031966B 公開（公告）日 2021-12-07
申請公布號 CN110031966B 申請公布日 2021-12-07
分類號 G02B26/08（2006.01）I 分類 光學(xué);
發(fā)明人 陳巧 申請（專利權(quán)）人 蘇州知芯傳感技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 黨麗;王寶筠
地址 215002江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)金雞湖大道99號蘇州納米城西北區(qū)20幢509室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種微鏡包括質(zhì)量塊、質(zhì)量塊上的鏡面反射層、支撐結(jié)構(gòu)和驅(qū)動單元對，驅(qū)動單元對沿質(zhì)量塊的一個對稱軸對稱設(shè)置，且驅(qū)動單元對中的每個驅(qū)動單元包括沿質(zhì)量塊的另一對稱軸對稱設(shè)置的一對驅(qū)動臂，驅(qū)動臂由U型折疊梁、U型折疊梁上的多個壓電驅(qū)動塊以及U型折疊梁的自由端上的兩連接端，通過連接端將驅(qū)動臂固定于質(zhì)量塊以及支撐結(jié)構(gòu)上。這樣，構(gòu)成了呈對稱布置的微機(jī)電微鏡，其通過壓電驅(qū)動方式對鏡面層進(jìn)行驅(qū)動，無需扭轉(zhuǎn)梁的支撐，減小驅(qū)動力的損耗，使得微鏡具有更大的掃描角度，此外，U型折疊梁的橫梁上設(shè)置多個壓電驅(qū)動塊，通過不同驅(qū)動塊的壓電控制，可以限制微鏡面外的平動，進(jìn)一步增大微鏡掃描角度，并增強(qiáng)系統(tǒng)穩(wěn)定性。