一種具備壓阻反饋的靜電MEMS微鏡及制造方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111339245.3 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113960782A 公開（公告）日 2022-01-21
申請(qǐng)公布號(hào) CN113960782A 申請(qǐng)公布日 2022-01-21
分類號(hào) G02B26/08（2006.01）I 分類 光學(xué);
發(fā)明人 張程浩;陳巧;陳敏 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 蘇州知芯傳感技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京經(jīng)緯專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 田凌濤
地址 215000江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)金雞湖大道99號(hào)蘇州納米城中北區(qū)23幢214室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種具備壓阻反饋的靜電MEMS微鏡及制造方法，包括襯底（1）、鏡面（2）、定梳齒裝置、兩組動(dòng)梳齒裝置和兩個(gè)壓阻模塊（3），通過(guò)壓阻模塊（3）上所設(shè)各金屬電極（6）與對(duì)應(yīng)扭轉(zhuǎn)梁（4）之間惠斯通電橋的建立與應(yīng)用，應(yīng)用惠斯通電橋所具備檢測(cè)應(yīng)力變化的能力，以及鏡面（2）的扭轉(zhuǎn)角度與扭轉(zhuǎn)梁（4）端部應(yīng)力間的正比關(guān)系，實(shí)現(xiàn)對(duì)扭轉(zhuǎn)梁（4）端部應(yīng)力變化情況的檢測(cè)，最終獲得MEMS靜電微鏡的鏡面（2）偏轉(zhuǎn)角度，擁有直接檢測(cè)高速旋轉(zhuǎn)鏡面（2）角度的優(yōu)點(diǎn)，整個(gè)設(shè)計(jì)方案具有實(shí)時(shí)、連續(xù)檢測(cè)微鏡鏡面（2）運(yùn)動(dòng)狀態(tài)的優(yōu)點(diǎn)，同時(shí)整個(gè)結(jié)構(gòu)封裝尺寸小、結(jié)構(gòu)緊湊，更加節(jié)省成本。