一種混合驅(qū)動(dòng)的二維MEMS微鏡及其制作方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202011385042.3 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN112363314A | 公開（公告）日 | 2021-02-12 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112363314A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-02-12 |
| 分類號(hào) | G02B26/08(2006.01)I | 分類 | 光學(xué); |
| 發(fā)明人 | 陳巧 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 蘇州知芯傳感技術(shù)有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 南京經(jīng)緯專利商標(biāo)代理有限公司 | 代理人 | 田凌濤 |
| 地址 | 215000江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)金雞湖大道99號(hào)蘇州納米城中北區(qū)23幢214室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明涉及一種混合驅(qū)動(dòng)的二維MEMS微鏡及其制作方法，采用全新驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，將壓電驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)和靜電驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)相結(jié)合，實(shí)現(xiàn)了混合驅(qū)動(dòng)操作，其中設(shè)計(jì)基于環(huán)形外襯底（1），應(yīng)用靜電驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)對(duì)環(huán)形內(nèi)襯底（2）的驅(qū)動(dòng)，并進(jìn)一步應(yīng)用環(huán)形內(nèi)襯底（2）與鏡面支撐（3）之間的壓電驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)，獲得對(duì)鏡面支撐（3）的驅(qū)動(dòng)，驅(qū)動(dòng)電極通過(guò)轉(zhuǎn)軸引出，如此實(shí)現(xiàn)了混合驅(qū)動(dòng)操作，整個(gè)結(jié)構(gòu)能夠有效提高驅(qū)動(dòng)效率，并使的驅(qū)動(dòng)角度變大；同時(shí)本發(fā)明還進(jìn)一步設(shè)計(jì)了針對(duì)此二維MEMS微鏡的制作方法，采用制作工藝，僅需要SOI圓片作為基底層，便可以加工獲得所設(shè)計(jì)的二維MEMS微鏡，整個(gè)制作過(guò)程工藝簡(jiǎn)單，成品率高，同時(shí)整體結(jié)構(gòu)尺寸也會(huì)降低，成本得到降低。?? |
