一種MEMS開(kāi)關(guān)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201920787732.8 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN211111040U | 公開(kāi)（公告）日 | 2020-07-28 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN211111040U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-07-28 |
| 分類號(hào) | B81B7/02(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 陳巧 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 蘇州知芯傳感技術(shù)有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 南京經(jīng)緯專利商標(biāo)代理有限公司 | 代理人 | 田凌濤 |
| 地址 | 215000江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)金雞湖大道99號(hào)蘇州納米城中北區(qū)23幢214室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型涉及一種MEMS開(kāi)關(guān)，應(yīng)用橋式結(jié)構(gòu)，在驅(qū)動(dòng)力作用下，使開(kāi)關(guān)的中間部分產(chǎn)生最大位移，進(jìn)而將接觸區(qū)域設(shè)計(jì)為面接觸，取消了現(xiàn)有技術(shù)中的點(diǎn)接觸設(shè)計(jì)，由此避免點(diǎn)接觸的缺點(diǎn)，獲得了更高的MEMS開(kāi)關(guān)工作效率，與此同時(shí)，針對(duì)所設(shè)計(jì)MEMS開(kāi)關(guān)，具體設(shè)計(jì)對(duì)應(yīng)其的制作方法，采用鍵合工藝方案，大大減小工藝復(fù)雜度，減小粘附，有效提高了成品率。?? |
