自動定位式上下設備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201822206087.4 申請日 -
公開(公告)號 CN209478651U 公開(公告)日 2019-10-11
申請公布號 CN209478651U 申請公布日 2019-10-11
分類號 B28D7/04;B24B41/06;B24B41/00 分類 加工水泥、黏土或石料;
發(fā)明人 施政;施心星;李斌 申請(專利權)人 蘇州鐳明激光科技有限公司
代理機構 蘇州唯亞智冠知識產權代理有限公司 代理人 蘇州鐳明激光科技有限公司
地址 215000 江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)金雞湖大道99號蘇州納米城西北區(qū)04幢102、202室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及一種自動定位式上下設備,包括有底座,底座上安裝有晶圓夾取裝置,晶圓夾取裝置上連接有晶圓定位裝置,晶圓夾取裝置的一側安裝有料盒升降裝置,晶圓定位裝置上還連接有晶圓轉移裝置。由此,帶有自動定位裝置,能將運輸中的晶圓準確定位放置到加工位和料盒中。整體構造簡單,一體性好,無需占用較大的設備空間。能夠與目前常規(guī)的晶圓加工設備匹配使用,泛用性較好。