用于加熱腔的驅(qū)動(dòng)設(shè)備
基本信息
申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202020979519.X | 申請(qǐng)日 | - |
公開(公告)號(hào) | CN212643465U | 公開(公告)日 | 2021-03-02 |
申請(qǐng)公布號(hào) | CN212643465U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-03-02 |
分類號(hào) | F16H57/04(2010.01)I;C23C16/50(2006.01)I;F16H25/22(2006.01)I;F16J3/04(2006.01)I;F16C3/02(2006.01)I | 分類 | 工程元件或部件;為產(chǎn)生和保持機(jī)器或設(shè)備的有效運(yùn)行的一般措施;一般絕熱; |
發(fā)明人 | 楊飛云;李朋 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人 | 理想萬里暉半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司 |
代理機(jī)構(gòu) | - | 代理人 | - |
地址 | 201620上海市松江區(qū)思賢路3255號(hào)3幢403室 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本實(shí)用新型提供用于加熱腔的驅(qū)動(dòng)設(shè)備。所述驅(qū)動(dòng)設(shè)備包括基板、連接在基板上的導(dǎo)向軸、容納導(dǎo)向軸穿過且能沿著導(dǎo)向軸運(yùn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)板,所述驅(qū)動(dòng)板在加熱腔中經(jīng)受的第一溫度高于所述基板在加熱腔中經(jīng)受的第二溫度,所述基板由不銹鋼制成,所述驅(qū)動(dòng)板由不脹鋼制成。本實(shí)用新型能減小導(dǎo)向軸的兩端所連接的過渡板和基板之間的熱膨脹差異,能有效解決導(dǎo)向軸磨損及卡死問題,并能有效降低驅(qū)動(dòng)馬達(dá)輸出的扭矩。?? |
