層疊式預(yù)熱腔
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202021596860.3 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN213013088U | 公開（公告）日 | 2021-04-20 |
| 申請公布號 | CN213013088U | 申請公布日 | 2021-04-20 |
| 分類號 | H01L31/18(2006.01)I;C23C16/46(2006.01)I;C23C16/458(2006.01)I | 分類 | 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 馬哲國;楊華新;董家偉;王慧慧;耿茜 | 申請（專利權(quán)）人 | 理想萬里暉半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | - | 代理人 | - |
| 地址 | 201306上海市浦東新區(qū)自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)臨港新片區(qū)江山路2699弄3號廠房 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型提供層疊式預(yù)熱腔。所述層疊式預(yù)熱腔包括：第一層預(yù)熱子腔，其包括用于承載第一托盤的第一承載件以及分別設(shè)置在第一層預(yù)熱子腔的頂部和底部的第一組紅外加熱器和第二組紅外加熱器；以及第二層預(yù)熱子腔，其層疊在第一層預(yù)熱子腔上，且包括用于承載第二托盤的第二承載件以及分別設(shè)置在第二層預(yù)熱子腔的頂部和底部的第三組紅外加熱器和第四組紅外加熱器；其中第一組紅外加熱器和第三組紅外加熱器的波長為(大于2μm)～3μm，第二組紅外加熱器和第四組紅外加熱器的波長為1.2μm～2μm。本實(shí)用新型能有效改善預(yù)熱腔的加熱能力，縮短托盤預(yù)熱時間，降低對硅片表面薄膜的熱損傷，提高設(shè)備產(chǎn)能。?? |
