用于制造異質(zhì)結(jié)太陽能電池的方法及異質(zhì)結(jié)太陽能電池

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111114265.0 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113921661A 公開（公告）日 2022-01-11
申請(qǐng)公布號(hào) CN113921661A 申請(qǐng)公布日 2022-01-11
分類號(hào) H01L31/20（2006.01）I;H01L31/0747（2012.01）I;C23C16/02（2006.01）I;C23C16/24（2006.01）I;C23C16/505（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 馬哲國(guó);陳金元 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 理想萬里暉半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 201306上海市浦東新區(qū)中國(guó)（上海）自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)臨港新片區(qū)江山路2699弄3號(hào)廠房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種用于制造異質(zhì)結(jié)太陽能電池的方法以及異質(zhì)結(jié)太陽能電池。所述方法首先通過制絨清洗工藝對(duì)N型單晶硅片進(jìn)行制絨清洗；然后通過本征PECVD工藝在N型單晶硅片的正反面上分別形成第一、第二本征非晶硅層；接著通過第一、第二、第三N型PECVD工藝分別在第一本征非晶硅層上依次形成第一、第二以及第三N型非晶微晶混合層；接著通過P型PECVD工藝在第二本征非晶硅層上形成P型非晶硅層；然后在第三N型非晶微晶混合層以及P型非晶硅層上分別形成第一以及第二透明導(dǎo)電膜；最后通過絲網(wǎng)印刷工藝在第一以及所述第二透明導(dǎo)電膜上分別形成第一電極以及第二電極。本發(fā)明能解決生產(chǎn)節(jié)拍過慢、產(chǎn)能較低、低溫下非晶硅薄膜品質(zhì)差的問題，提高電池效率。