托盤(pán)預(yù)熱腔
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202021965379.7 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN212648265U | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-03-02 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN212648265U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-03-02 |
| 分類(lèi)號(hào) | C23C16/50(2006.01)I;H01L31/0747(2012.01)I;H01L31/18(2006.01)I | 分類(lèi) | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 馬哲?chē)?guó);楊華新;陳金元 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 理想萬(wàn)里暉半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | - | 代理人 | - |
| 地址 | 201306上海市浦東新區(qū)自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)臨港新片區(qū)江山路2699弄3號(hào)廠房 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型提供一種托盤(pán)預(yù)熱腔。該預(yù)熱腔包括：托盤(pán)預(yù)熱模塊，其包括預(yù)熱框架、水平分層設(shè)置在預(yù)熱框架中的多層預(yù)熱板、以及驅(qū)動(dòng)預(yù)熱框架上下移動(dòng)的第一驅(qū)動(dòng)模塊；托盤(pán)頂推模塊，其包括頂推框架、水平分層設(shè)置且在預(yù)熱板下側(cè)的多層頂推板、以及設(shè)置在預(yù)熱框架的預(yù)熱基座上驅(qū)動(dòng)頂推框架上下移動(dòng)的第二驅(qū)動(dòng)模塊；以及控制模塊，其控制第一驅(qū)動(dòng)模塊驅(qū)動(dòng)預(yù)熱框架及預(yù)熱板在第一和第二位置之間移動(dòng)、以將間隔設(shè)置的第一或第二組預(yù)熱板與傳送托盤(pán)進(jìn)出的托盤(pán)傳送位相對(duì)準(zhǔn)，還在將托盤(pán)傳進(jìn)或傳出預(yù)熱腔時(shí)控制第二驅(qū)動(dòng)模塊驅(qū)動(dòng)頂推框架帶動(dòng)其頂推板從回縮等待位向上移動(dòng)到頂推支撐位，并在托盤(pán)被放置至頂推桿上、或托盤(pán)被取走后向下驅(qū)動(dòng)到回縮等待位。?? |
