微流控芯片及其制備方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201911022371.9 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN112705279A | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-04-27 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112705279A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-04-27 |
| 分類(lèi)號(hào) | B01L3/00 | 分類(lèi) | 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置; |
| 發(fā)明人 | 蘇云鵬;鄒耀中;鄧楊;江鵬;顧佳燁 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 成都今是科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京華睿卓成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 彭武 |
| 地址 | 610041 四川省成都市高新區(qū)科園南路88號(hào)12棟6層601、605號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本公開(kāi)實(shí)施例提出一種微流控芯片及其制備方法，該微流控芯片的芯片單元包括：CMOS襯底；形成于該CMOS襯底之上的微電極層；形成于該CMOS襯底之上并覆蓋該微電極層的親水層；形成于該親水層之上的親脂層；該親脂層和親水層具有從該親脂層的頂部貫穿至該微電極層的上表面的孔。本公開(kāi)實(shí)施例既能保證水溶液的潤(rùn)濕，實(shí)現(xiàn)電路導(dǎo)通，同時(shí)能保證有機(jī)雙性分子實(shí)現(xiàn)自組裝，實(shí)現(xiàn)高的良率，并且可以實(shí)現(xiàn)在單個(gè)芯片中設(shè)置千萬(wàn)級(jí)單元的可能，同時(shí)兼容CMOS工藝，可以提高量產(chǎn)精度控制，降低量產(chǎn)成本。 |
