故障定位方法和故障定位裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110767042.8 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN113466740A 公開(公告)日 2021-10-01
申請(qǐng)公布號(hào) CN113466740A 申請(qǐng)公布日 2021-10-01
分類號(hào) G01R31/52(2020.01)I;G01J5/10(2006.01)I;G01N21/88(2006.01)I 分類 測(cè)量;測(cè)試;
發(fā)明人 王君兆;黃偉 申請(qǐng)(專利權(quán))人 深圳市美信咨詢有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京超凡宏宇專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 代理人 王闖
地址 518108廣東省深圳市寶安區(qū)石巖街道松白公路北側(cè)方正科技工業(yè)園研發(fā)樓109室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請(qǐng)?zhí)峁┮环N故障定位方法和故障定位裝置,涉及半導(dǎo)體領(lǐng)域。故障定位方法:利用故障IC載板的版圖和阻抗測(cè)試結(jié)果預(yù)判疑似故障區(qū)域,然后對(duì)疑似故障區(qū)域進(jìn)行研磨處理;將研磨處理后的故障IC載板通電,對(duì)通電的故障IC載板進(jìn)行熱成像,獲得溫度異常區(qū)域,溫度異常區(qū)域?yàn)槁╇姽收衔恢谩9收隙ㄎ谎b置,包括阻抗檢測(cè)模塊、研磨模塊、供電模塊和紅外成像模塊,阻抗檢測(cè)模塊用于檢測(cè)故障IC載板的阻抗,研磨模塊用于對(duì)故障IC載板的疑似故障區(qū)域進(jìn)行研磨處理,供電模塊用于對(duì)研磨處理后的故障IC載板通電,紅外成像模塊用于對(duì)通電的故障IC載板進(jìn)行熱成像。本申請(qǐng)?zhí)峁┑墓收隙ㄎ环椒ê凸收隙ㄎ谎b置,定位精準(zhǔn)、成功率高、耗時(shí)短。