結(jié)構(gòu)色顏料光學(xué)薄膜厚度的監(jiān)測方法以及鍍膜機(jī)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911216216.0 申請日 -
公開（公告）號 CN112981357A 公開（公告）日 2021-06-18
申請公布號 CN112981357A 申請公布日 2021-06-18
分類號 C23C14/54 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 馬道遠(yuǎn) 申請（專利權(quán)）人 寧波融光納米科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市威世博知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 李慶波
地址 315000 浙江省寧波市奉化區(qū)經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)濱海新區(qū)天海路399號（小微產(chǎn)業(yè)園7號廠房）（自主申報）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請公開了一種結(jié)構(gòu)色顏料光學(xué)薄膜厚度的監(jiān)測方法以及鍍膜機(jī)，該方法包括：利用石英晶體監(jiān)控系統(tǒng)對結(jié)構(gòu)色顏料光學(xué)薄膜中各膜層的物理厚度進(jìn)行全程監(jiān)控；設(shè)定生產(chǎn)過程中需要簡易光學(xué)監(jiān)控系統(tǒng)監(jiān)控的預(yù)設(shè)膜層；在開始制備預(yù)設(shè)膜層時，若簡易光學(xué)監(jiān)控系統(tǒng)監(jiān)測到預(yù)設(shè)膜層的光學(xué)厚度達(dá)到時，則停止預(yù)設(shè)膜層的制備，并獲取石英晶體監(jiān)控系統(tǒng)監(jiān)測到的預(yù)設(shè)膜層的物理厚度d，進(jìn)而按照更新折射率n；獲取材料與預(yù)設(shè)膜層的材料相同的其他各膜層的光學(xué)厚度并按照更新其他各膜層的物理厚度d′，進(jìn)而在鍍膜機(jī)制備材料與預(yù)設(shè)膜層材料相同的膜層時，石英晶體監(jiān)控系統(tǒng)以更新后的物理厚度d′進(jìn)行監(jiān)控。本申請的方法能夠精確地控制膜層的厚度。