一種ITO靶材的搬運裝置
基本信息
申請?zhí)?/td> | CN201821324139.1 | 申請日 | - |
公開(公告)號 | CN208585262U | 公開(公告)日 | 2019-03-08 |
申請公布號 | CN208585262U | 申請公布日 | 2019-03-08 |
分類號 | B62B3/00(2006.01)I; B62B5/00(2006.01)I | 分類 | 無軌陸用車輛; |
發(fā)明人 | 劉洪浩 | 申請(專利權)人 | 江蘇比昂電子材料有限公司 |
代理機構 | 蘇州市指南針專利代理事務所(特殊普通合伙) | 代理人 | 江蘇比昂電子材料有限公司 |
地址 | 215000 江蘇省蘇州市相城區(qū)太平街道金澄路88號 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本實用新型公開了一種ITO靶材的搬運裝置,包括減震組件、托架組件和殼體,所述減震組件的頂部的兩側皆固定安裝有升降機構,所述升降機構的頂部皆固定安裝有固定塊,且固定塊之間固定安裝有支撐板,所述支撐板內部的兩側皆固定設置有通孔,所述支撐板頂部的兩側皆固定安裝有液壓缸,所述液壓缸的輸出端固定安裝有托架組件,所述減震組件頂部的固定安裝有殼體,所述殼體的一側固定設置有限位槽,所述殼體內部的兩側固定安裝有滑軌組件,所述滑軌組件的頂部活動安裝有滑板,所述滑板的頂部固定設置有防滑墊。本實用新型通過設置有一系列的結構使本裝置在使用的過程中具有拖起方便,且便于調節(jié)等優(yōu)點。 |
