一種ITO靶材的燒結(jié)裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201821322611.8 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN208704444U | 公開（公告）日 | 2019-04-05 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN208704444U | 申請(qǐng)公布日 | 2019-04-05 |
| 分類號(hào) | F27B21/00（2006.01）I | 分類 | 爐；窯；烘烤爐；蒸餾爐〔4〕; |
| 發(fā)明人 | 劉洪浩 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 江蘇比昂電子材料有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 蘇州市指南針專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） | 代理人 | 江蘇比昂電子材料有限公司 |
| 地址 | 215000 江蘇省蘇州市相城區(qū)太平街道金澄路88號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開了一種ITO靶材的燒結(jié)裝置，包括進(jìn)料口、外殼體、內(nèi)殼體與蓄水底座，所述外殼體的頂部設(shè)置有進(jìn)料口，且進(jìn)料口的頂部固定安裝有防塵裝置，所述外殼體的內(nèi)部設(shè)置有內(nèi)殼體，所述內(nèi)殼體內(nèi)部的兩側(cè)皆設(shè)置有保溫層，且保溫層的一側(cè)固定安裝有加熱硅鉬棒，所述內(nèi)殼體的底部固定安裝有電機(jī)，所述電機(jī)的輸出端轉(zhuǎn)動(dòng)安裝有軸桿，且軸桿的兩側(cè)皆固定安裝有攪拌桿，所述外殼體的底部固定安裝有蓄水底座，所述蓄水底座的頂部固定安裝有水泵，所述外殼體的表面固定安裝有散熱裝置。本實(shí)用新型通過(guò)設(shè)置有一系列的結(jié)構(gòu)使得該ITO靶材的燒結(jié)裝置加快ITO靶材的燒結(jié)的速度，且還可以進(jìn)行循環(huán)對(duì)殼體進(jìn)行循環(huán)的冷卻，以便ITO靶材的生產(chǎn)。 |
