一種ITO靶材壓緊裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201821150930.5 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN208586350U | 公開(kāi)（公告）日 | 2019-03-08 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN208586350U | 申請(qǐng)公布日 | 2019-03-08 |
| 分類(lèi)號(hào) | C23C14/34（2006.01）I | 分類(lèi) | 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 劉洪浩 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 江蘇比昂電子材料有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 蘇州市指南針專(zhuān)利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） | 代理人 | 江蘇比昂電子材料有限公司 |
| 地址 | 215000 江蘇省蘇州市相城區(qū)太平街道金澄路88號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種ITO靶材壓緊裝置，包括第一絕緣底座和第二絕緣底座，所述第一絕緣底座的頂部等距開(kāi)設(shè)有多個(gè)第一螺旋孔，所述第一螺旋孔通過(guò)第二固定螺栓與調(diào)節(jié)板，所述調(diào)節(jié)板通過(guò)第一固定螺栓與第二絕緣底座，所述第二絕緣底座的頂部等距開(kāi)設(shè)有多個(gè)第二螺旋孔，所述第一絕緣底座與第二絕緣底座的內(nèi)部通過(guò)伸縮彈簧與壓緊塊連接。本實(shí)用新型中，第一絕緣底座與第二絕緣底座之間設(shè)置有調(diào)節(jié)板，且第一絕緣底座與第二絕緣底座通過(guò)伸縮彈簧與壓緊塊連接，可通過(guò)調(diào)節(jié)調(diào)節(jié)板的長(zhǎng)度來(lái)適應(yīng)不同長(zhǎng)度的ITO靶材的壓緊，擴(kuò)大了壓緊裝置的使用范圍，增強(qiáng)適用性。 |
