一種ITO靶材加工用熱等靜壓裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201821150929.2 申請日 -
公開（公告）號 CN208930477U 公開（公告）日 2019-06-04
申請公布號 CN208930477U 申請公布日 2019-06-04
分類號 B28B3/00（2006.01）I 分類 加工水泥、黏土或石料;
發(fā)明人 劉洪浩 申請（專利權(quán)）人 江蘇比昂電子材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州市指南針專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 江蘇比昂電子材料有限公司
地址 215000 江蘇省蘇州市相城區(qū)太平街道金澄路88號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種ITO靶材加工用熱等靜壓裝置，包括靜壓倉，所述靜壓倉下表面兩側(cè)設(shè)置有減震底座，所述靜壓倉兩側(cè)設(shè)置有真空板，且真空板內(nèi)表壁設(shè)置有加壓管，所述靜壓倉頂部設(shè)置有密封蓋，所述密封蓋下表面設(shè)置有壓合墊片，所述密封蓋上表面兩側(cè)邊緣處對稱設(shè)置有支架，且支架頂部焊接有提拉把手和與之配套使用的彈簧壓板，所述靜壓倉內(nèi)部底板上設(shè)置有頂桿，且頂桿頂部設(shè)置有加熱管，所述加熱管頂部設(shè)置有掛板，所述掛板下表面設(shè)置有限位塊，且限位塊內(nèi)表面設(shè)置有彈簧掛板，所述靜壓倉內(nèi)部設(shè)置有冷卻管。本實(shí)用新型中，該熱等靜壓裝置整體結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)簡單合理，實(shí)現(xiàn)了快速熱壓以及散熱的效果，操作安全靈活，具有較強(qiáng)的實(shí)用性。