一種覆膠固晶方法及其系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201410094625.9 申請日 -
公開（公告）號 CN103872193B 公開（公告）日 2018-02-27
申請公布號 CN103872193B 申請公布日 2018-02-27
分類號 H01L33/00 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 孫亞雷;米廣輝;羅尚峰 申請（專利權(quán)）人 深圳翠濤自動化設備股份有限公司
代理機構(gòu) 深圳市君勝知識產(chǎn)權(quán)代理事務所（普通合伙） 代理人 深圳翠濤自動化設備股份有限公司
地址 518109 廣東省深圳市寶安區(qū)大浪街道浪口社區(qū)華榮路德泰科技工業(yè)園第8棟廠房一層至四層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種覆膠固晶方法及其系統(tǒng)，包括步驟：包括步驟：A、通過固晶臂拾取晶圓盤上的晶粒；B、將拾取的晶粒的底部浸入膠盤包覆膠水進行黏膠處理；C、將黏膠處理后的晶粒粘焊在載體上的待固晶位。由于使用同一個機械及控制結(jié)構(gòu)進行拾晶，并靠晶片自身取膠，避免了傳統(tǒng)方式的晶粒與膠點粘接位置有盲點，粘接面分布不均，易出現(xiàn)晶粒與膠滴重置點偏差較大、膠型不飽滿、吸附牢固性差等不良現(xiàn)象。該固晶方法采用獨立的系統(tǒng)即可實現(xiàn)，完全避免兩個獨立機構(gòu)同工位生產(chǎn)碰撞問題，簡化機械結(jié)構(gòu)，降低控制難度，同時又提高產(chǎn)品精度。