一種覆膠固晶設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201410094626.3 申請日 -
公開（公告）號 CN103871910B 公開（公告）日 2017-10-13
申請公布號 CN103871910B 申請公布日 2017-10-13
分類號 H01L21/56(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 孫亞雷;米廣輝;羅尚峰 申請（專利權(quán)）人 深圳翠濤自動化設(shè)備股份有限公司
代理機構(gòu) 深圳市君勝知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 深圳翠濤自動化設(shè)備股份有限公司
地址 518109 廣東省深圳市寶安區(qū)大浪街道浪口社區(qū)華榮路德泰科技工業(yè)園第8棟廠房一層至四層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種覆膠固晶設(shè)備，包括：晶圓盤，用于放置待固晶的晶粒；膠盤，用于對該晶粒的底部包覆膠水進行黏膠處理；載體，用于提供該晶粒的待固晶位；固晶臂，用于拾取該晶粒，并通過該固晶臂將所述晶粒送至膠盤工位進行黏膠處理，再通過該固晶臂將黏膠處理后的晶粒粘焊在載體上的待固晶位。采用單個機械臂完成個工藝過程（包括拾晶、取膠和固晶），解決了傳統(tǒng)工藝時序及結(jié)構(gòu)空間問題，采用增加工作單元的方式大幅提高設(shè)備產(chǎn)能，同時最主要的是解決了傳統(tǒng)工藝中每次出膠高徑比底，點膠精度和固晶精度交互影響，膠點形狀、厚度、大小一致性差，厚度難以控制，引起黏結(jié)面有盲點或牢固性差等問題。