一種晶元環(huán)尺寸可互換的自動固晶機(jī)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201720480632.1 申請日 -
公開（公告）號 CN207038489U 公開（公告）日 2018-02-23
申請公布號 CN207038489U 申請公布日 2018-02-23
分類號 H01L21/67 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 李蔚然 申請（專利權(quán)）人 深圳翠濤自動化設(shè)備股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市君勝知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 深圳翠濤自動化設(shè)備股份有限公司
地址 518059 廣東省深圳市龍華新區(qū)大浪華榮路德泰科技工業(yè)園8棟
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供了一種晶元環(huán)尺寸可互換的自動固晶機(jī)，包括：基座；用于放置需要點膠及固晶的材料的載件機(jī)構(gòu)，其固定在基座一端；用于在取膠工位的膠盤內(nèi)取膠并在點膠位對所述載件機(jī)構(gòu)（2）上的固晶位進(jìn)行點膠的點膠機(jī)構(gòu)，其設(shè)置在載件機(jī)構(gòu)上方、基座后側(cè)支撐部上；用于固定晶片膜及對晶片膜擴(kuò)晶的擴(kuò)晶環(huán)晶元工作臺機(jī)構(gòu)，其固定在基座另一端；用于拾取并固定晶片的取晶固晶機(jī)構(gòu)；擴(kuò)晶環(huán)晶元工作臺機(jī)構(gòu)的工作臺平面與載件機(jī)構(gòu)的工作臺平面部分交互；頂針機(jī)構(gòu)，用于頂起擴(kuò)晶環(huán)晶元工作臺機(jī)構(gòu)上固定的晶片膜并將晶片膜進(jìn)一步固定，固定在基座上、擴(kuò)晶環(huán)晶元工作臺機(jī)構(gòu)下方。本實用新型固晶機(jī)能夠不更改臂長、不增大機(jī)器尺寸滿足8寸及12寸大尺寸晶圓材料。