一種多棱角整板電極

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201711113780.0 申請日 -
公開(公告)號 CN107706080A 公開(公告)日 2018-02-16
申請公布號 CN107706080A 申請公布日 2018-02-16
分類號 H01J37/32 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 鄭志偉;廖文晗;陳磊;李志華 申請(專利權(quán))人 珠海倍力高科科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州三環(huán)專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 溫旭
地址 519000 廣東省珠海市香洲區(qū)南屏科技工業(yè)園屏西五路1號辦公樓1樓A-1區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種多棱角整板電極,包括整板電極本體,所述整板電極本體的頂面與底面分別設(shè)置有凸起的棱角,所述棱角等間距的設(shè)置有多組,相鄰的兩個(gè)所述棱角的間距為10mm或15mm,所述棱角的最高點(diǎn)距整板電極本體的表層的距離為2mm。本發(fā)明通過在整板電極本體的側(cè)部設(shè)置棱角,利用尖端放電的原理,在等離子清洗中,避免了棱角尖端部位附著清洗副產(chǎn)物,從而保證生產(chǎn)過程中清洗速度和均勻性的穩(wěn)定,延長電極的使用周期。