一種單晶硅直拉熱場可視熱屏裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201320482081.4 申請日 -
公開（公告）號 CN203411654U 公開（公告）日 2014-01-29
申請公布號 CN203411654U 申請公布日 2014-01-29
分類號 C30B15/00(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 楚信博;李寧 申請（專利權(quán)）人 晶偉電子材料有限公司
代理機構(gòu) 河北東尚律師事務(wù)所 代理人 王文慶
地址 065201 河北省廊坊市燕郊經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)迎賓北路晶龍集團工業(yè)園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種單晶硅直拉熱場可視熱屏裝置，包括外熱屏和嵌套在外熱屏中的內(nèi)熱屏，并且內(nèi)熱屏與外熱屏之間為密閉的保溫層腔體；所述保溫層腔體中設(shè)有夾層塊，且夾層塊緊貼內(nèi)熱屏的外壁和外熱屏的內(nèi)壁；所述外熱屏的屏壁底部、夾層塊以及內(nèi)熱屏的屏壁底部的相應(yīng)位置各開有一個觀察槽。本實用新型可以對晶體生長過程中熔硅液面位置進行實時觀察。內(nèi)熱屏、外熱屏和夾層塊相互配合，觀察者可以通過觀察口對固液界面進行觀察，內(nèi)熱屏和外熱屏可以起到保溫的作用，合理控制熔硅固液界面溫度梯度。