一種梯形梳齒、靜電梳齒驅(qū)動器及MEMS掃描鏡

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022767909.3 申請日 -
公開（公告）號 CN214097963U 公開（公告）日 2021-08-31
申請公布號 CN214097963U 申請公布日 2021-08-31
分類號 G02B26/08（2006.01）I;G02B26/10（2006.01）I 分類 光學(xué);
發(fā)明人 郭俊興;杜先鵬;金傳廣 申請（專利權(quán)）人 蘇州小優(yōu)智能科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京金碩果知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 郝曉霞
地址 215100江蘇省蘇州市吳中區(qū)東吳北路8號國裕大廈一期1401室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種梯形梳齒，所述梯形梳齒的根部寬度大于頭部寬度，且所述梯形梳齒的寬度從梯形梳齒根部到梯形梳齒頭部單調(diào)減小。梯形梳齒設(shè)計，其梳齒根部的寬度大于梳齒頭部寬度，在保持梳齒平均寬度不變的情況下，可以大幅度增加梳齒根部的剛度；在芯片尺寸一定的情況下，采用本實用新型的梯形狀梳齒結(jié)構(gòu)，相較于現(xiàn)有技術(shù)中的矩形梳齒結(jié)構(gòu)，可以大幅度提高梳齒驅(qū)動器的驅(qū)動扭矩、增大驅(qū)動角度，或者減小芯片尺寸、降低驅(qū)動電壓，大幅度提高芯片的技術(shù)性能、降低芯片的成本。