一種兼容硅片與玻璃片的靜電吸盤裝置及等離子刻蝕設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202120643605.8 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN214279941U 公開（公告）日 2021-09-24
申請(qǐng)公布號(hào) CN214279941U 申請(qǐng)公布日 2021-09-24
分類號(hào) H01L21/683（2006.01）I;H01L21/687（2006.01）I;H01J37/20（2006.01）I;H01J37/32（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 曹賀;劉曉佳;呂迅;劉勝芳;趙錚濤 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 安徽熙泰智能科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蕪湖安匯知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 孟迪
地址 241000安徽省蕪湖市蕪湖長(zhǎng)江大橋綜合經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)高安街道經(jīng)四路一號(hào)辦公樓五樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種兼容硅片與玻璃片的靜電吸盤裝置及等離子刻蝕設(shè)備，屬于等離子刻蝕技術(shù)領(lǐng)域，其中的靜電吸盤裝置，包括基座及其上設(shè)置的靜電吸盤，靜電吸盤上放置待刻蝕的硅片或玻璃片，基座的外周方向上設(shè)置有多組壓緊調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，多個(gè)壓緊調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)將玻璃片的外周壓緊，本實(shí)用新型的有益效果是，該靜電吸盤裝置整體結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，操作方便靈活，可將硅片或玻璃片有效吸附，而不會(huì)造成玻璃片的擊穿，提高了吸附的安全性和刻蝕的穩(wěn)定性。