微機電系統(tǒng)裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110891045.2 申請日 -
公開（公告）號 CN113603053A 公開（公告）日 2021-11-05
申請公布號 CN113603053A 申請公布日 2021-11-05
分類號 B81B7/00（2006.01）I;B81B7/02（2006.01）I;B81C1/00（2006.01）I;G01L9/12（2006.01）I 分類 微觀結(jié)構(gòu)技術(shù)〔7〕;
發(fā)明人 錢元晧;曾立天;郭致良 申請（專利權(quán)）人 蘇州明皜傳感科技股份有限公司
代理機構(gòu) 上海專利商標事務所有限公司 代理人 郭蔚
地址 215123江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)若水路388號E0804室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種微機電系統(tǒng)裝置，在后續(xù)形成一氣密腔的區(qū)域內(nèi)設置至少一個接合面積較小的接合部，以及在接合部的接合表面設置金屬吸收劑。依據(jù)此結(jié)構(gòu)，在基板接合定義出氣密腔時，因接合面積較小的接合部承受較大的接合壓力，使得金屬吸收劑被擠出接合位置并填充于基板的限制槽內(nèi)，被擠出的金屬吸收劑經(jīng)活化即可吸收氣密腔內(nèi)的水氣，并且限制槽避免金屬吸收劑接觸到固定電極。依據(jù)上述裝置，無需額外增加制程即可移除氣密腔內(nèi)的水氣。