力量傳感器以及其制造方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201810391387.6 申請日 -
公開（公告）號 CN110411614B 公開（公告）日 2021-04-20
申請公布號 CN110411614B 申請公布日 2021-04-20
分類號 B81B3/00(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I;G01L1/14(2006.01)I;G01L9/12(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 曾立天;錢元晧;郭致良;葉裕德 申請（專利權(quán)）人 蘇州明皜傳感科技股份有限公司
代理機構(gòu) 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 代理人 郭蔚
地址 215123江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)若水路388號E0804室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種力量傳感器包含一第一基板、一第二基板、一第三基板以及一封裝體。第一基板包含一固定電極、至少一第一導(dǎo)電接點以及至少一第二導(dǎo)電接點。第二基板設(shè)置于第一基板，并與第一基板的第一導(dǎo)電接點電性連接。第二基板包含一微機電系統(tǒng)組件，其與固定電極相對應(yīng)。第三基板設(shè)置于第二基板上，且包含一凸柱，其與微機電系統(tǒng)組件連接。封裝體則覆蓋第三基板。上述力量傳感器具有較佳的可靠度。??