微機電系統(tǒng)裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201710059828.8 申請日 -
公開（公告）號 CN108341394B 公開（公告）日 2020-11-20
申請公布號 CN108341394B 申請公布日 2020-11-20
分類號 B81B7/00;B81B7/02 分類 微觀結(jié)構(gòu)技術(shù)〔7〕;
發(fā)明人 周羿亨;曾立天;郭致良 申請（專利權(quán)）人 蘇州明皜傳感科技股份有限公司
代理機構(gòu) 上海專利商標事務(wù)所有限公司 代理人 徐偉
地址 215123 江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)若水路388號E0804室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種微機電系統(tǒng)裝置包含一處理晶粒、一微機電系統(tǒng)晶粒以及多個引線。微機電系統(tǒng)晶粒包含一基板以及一微機電系統(tǒng)元件?；寰哂幸坏谝槐砻?，且第一表面包含一電路以及與電路電性連接的多個第一導(dǎo)電接點。微機電系統(tǒng)元件具有一第二表面、一第三表面以及至少一第二導(dǎo)電接點，其中微機電系統(tǒng)元件以第二表面設(shè)置于基板的第一表面，且至少一第二導(dǎo)電接點設(shè)置于微機電系統(tǒng)元件的第三表面。多個引線經(jīng)由多個第一導(dǎo)電接點以及第二導(dǎo)電接點分別電性連接微機電系統(tǒng)晶粒的基板以及微機電系統(tǒng)元件至處理晶粒。