微機(jī)電系統(tǒng)裝置及其制造方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201810065286.X 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN110065924B 公開（公告）日 2021-09-14
申請(qǐng)公布號(hào) CN110065924B 申請(qǐng)公布日 2021-09-14
分類號(hào) B81B7/00;B81C1/00 分類 微觀結(jié)構(gòu)技術(shù)〔7〕;
發(fā)明人 錢元晧;曾立天;郭致良 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 蘇州明皜傳感科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 代理人 郭蔚
地址 215123 江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)若水路388號(hào)E0804室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種微機(jī)電系統(tǒng)裝置的制造方法包含在后續(xù)形成一氣密腔的區(qū)域內(nèi)設(shè)置至少一個(gè)接合面積較小的接合部，以及在接合部的接合表面設(shè)置金屬吸收劑。依據(jù)此結(jié)構(gòu)，在基板接合定義出氣密腔時(shí)，因接合面積較小的接合部承受較大的接合壓力，使得金屬吸收劑被擠出接合位置，被擠出的金屬吸收劑經(jīng)活化即可吸收氣密腔內(nèi)的水氣。依據(jù)上述制程，無需額外增加制程即可移除氣密腔內(nèi)的水氣。同時(shí)亦揭露一種以上述制造方法制造的微機(jī)電系統(tǒng)裝置。