硅芯腐蝕工藝

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201110137823.5 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN102206822B 公開（公告）日 2012-10-17
申請公布號(hào) CN102206822B 申請公布日 2012-10-17
分類號(hào) C30B33/10(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I;C23F1/40(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 周大榮 申請（專利權(quán)）人 無錫中彩科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 無錫市大為專利商標(biāo)事務(wù)所 代理人 曹祖良
地址 214183 江蘇省無錫市惠山區(qū)玉祁鎮(zhèn)工業(yè)集中區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種硅芯腐蝕工藝，特征是，包括以下工藝步驟：（1）將硅芯浸泡于堿溶液中浸泡10~20分鐘，在浸泡時(shí)加入質(zhì)量百分濃度為0.5~1%的雙氧水，堿溶液的溫度為50~60℃；（2）一級(jí)漂洗：將硅芯放入純水中漂洗5~10分鐘以去除堿溶液；（3）中和：將經(jīng)一級(jí)漂洗后的硅芯放入氫氟酸溶液中浸泡以中和殘余的堿溶液；（4）二級(jí)漂洗：將經(jīng)中和處理后的硅芯置于純水中漂洗5~10分鐘以去除氫氟酸溶液；（5）潔凈：將經(jīng)二級(jí)漂洗后的硅芯放入用蒸汽加熱的純水中浸泡30~50分鐘；（6）烘干：將硅芯置于烘箱中烘干。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是：本發(fā)明所述方法的成本只有酸腐蝕的一半，且腐蝕液可反復(fù)使用；不會(huì)產(chǎn)生氮化物污染環(huán)境，且對(duì)人體不會(huì)造成危害。