多晶硅氫氣加熱爐

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201120525110.1 申請日 -
公開（公告）號 CN202415171U 公開（公告）日 2012-09-05
申請公布號 CN202415171U 申請公布日 2012-09-05
分類號 C01B33/03(2006.01)I 分類 無機化學;
發(fā)明人 孫建榮;顧豪杰;張曉春 申請（專利權）人 無錫中彩科技有限公司
代理機構 無錫市大為專利商標事務所 代理人 曹祖良
地址 214183 江蘇省無錫市惠山區(qū)玉祁鎮(zhèn)工業(yè)集中區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及一種多晶硅氫氣加熱爐，包括爐壁和爐腔，特征是：在所述爐腔內設置有隔熱罩，在隔熱罩中間的腔體內放置盤管，在隔熱罩和爐壁之間形成的空腔內設置加熱絲。所述盤管的一端為氫氣進口，另一端為氫氣出口。所述盤管呈螺旋形。本實用新型利用在爐殼內裝置隔熱罩，使加熱器內盤管受熱均勻不會出現裂痕，爐內熱輻射減少，延長加熱器壽命。