一種硅片加工用清洗裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201911396911.X 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN111112172B 公開（公告）日 2021-12-07
申請(qǐng)公布號(hào) CN111112172B 申請(qǐng)公布日 2021-12-07
分類號(hào) B08B1/04（2006.01）I;B08B3/02（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I;F26B21/00（2006.01）I 分類 清潔;
發(fā)明人 楊兆安 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 中科同幟半導(dǎo)體（江蘇）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 臺(tái)州市臺(tái)創(chuàng)工聯(lián)專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 金俊男
地址 225400 江蘇省蘇州市泰興高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)科創(chuàng)路18號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種硅片加工用清洗裝置，包括清洗框，所述清洗框的一側(cè)外壁固定連接有正反轉(zhuǎn)電機(jī)，且正反轉(zhuǎn)電機(jī)的輸出軸延伸入清洗框內(nèi)的一端固定連接有螺紋絲杠，螺紋絲杠的一端與清洗框的一側(cè)內(nèi)壁之間通過軸承轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述螺紋絲杠的外壁螺紋連接有活動(dòng)座，且活動(dòng)座的頂部中間位置固定連接有支撐墊，支撐墊的頂部固定連接有置物臺(tái)，置物臺(tái)的頂部開有多個(gè)置物槽，所述清洗框的頂部一側(cè)固定連接有第一電動(dòng)推桿。本發(fā)明利用排水管和噴頭將水噴射在置物臺(tái)上，帶動(dòng)環(huán)形毛刷板和刷毛進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)，從而對(duì)硅片進(jìn)行清洗處理，代替人工清洗操作，并且可便于對(duì)清洗后的硅片進(jìn)行烘干處理，提高裝置的工作效率。