一種剛性復(fù)合型壓印模具及其制備方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201910722838.4 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN112342510A | 公開（公告）日 | 2021-02-09 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112342510A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-02-09 |
| 分類號(hào) | C23C14/35(2006.01)I; | 分類 | 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 林曉輝;成海濤;楊兆國;顧永新 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 上海量子繪景電子股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海光華專利事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 余明偉 |
| 地址 | 201806上海市嘉定區(qū)外岡鎮(zhèn)匯富路946號(hào)3幢203室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供一種剛性復(fù)合型壓印模具及其制備方法，所述制備方法包括：提供一剛性基材；于所述剛性基材上表面形成圖形化掩膜，并以所述圖形化掩膜為掩膜圖形對(duì)所述剛性基材進(jìn)行刻蝕，于所述剛性基材中形成凸起結(jié)構(gòu)；去除所述圖形化掩膜，并于刻蝕后的所述剛性基材中的基底上表面及所述凸起結(jié)構(gòu)表面形成金屬脫模層。通過本發(fā)明所述剛性復(fù)合型壓印模具及其制備方法，解決了現(xiàn)有金屬壓印模具制備成本高且不環(huán)保的問題。?? |
