一種半導(dǎo)體晶片自定位對中機構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201720222471.6 申請日 -
公開（公告）號 CN206639787U 公開（公告）日 2017-11-14
申請公布號 CN206639787U 申請公布日 2017-11-14
分類號 H01L21/68(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 曹志濤 申請（專利權(quán)）人 浙江卓晶科技有限公司
代理機構(gòu) 北京眾合誠成知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 韓燕燕;連圍
地址 313100 浙江省湖州市長興縣泗安鎮(zhèn)工業(yè)區(qū)浙江卓晶科技有限公司
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及一種半導(dǎo)體晶片自定位對中機構(gòu)，包括工作臺、沿晶片傳送方向滑動設(shè)置在該工作臺上的承載單元以及設(shè)置于該承載單元一側(cè)的對中單元，所述承載單元包括用于放置晶片的圓形承載平臺以及對稱可轉(zhuǎn)動設(shè)置在該承載平臺的圓周面上的限位組件；所述對中單元包括驅(qū)動組件以及固定于該驅(qū)動組件驅(qū)動端的對中塊，該對中塊的內(nèi)表面為圓弧形，其兩端部可分別與相對應(yīng)的限位組件的內(nèi)側(cè)面相抵觸。本實用新型通過設(shè)置在承載單元一側(cè)的對中單元配合承載單元的限位組件，使得半導(dǎo)體晶片移動至加工處理工位時，調(diào)整承載單元整體的對中位置進而確保晶片對中精度，對中精度高，對中位置易于控制。