一種三維扇出型集成封裝結(jié)構(gòu)及其封裝工藝

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201810093151.4 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN108389822A 公開(kāi)(公告)日 2018-08-10
申請(qǐng)公布號(hào) CN108389822A 申請(qǐng)公布日 2018-08-10
分類(lèi)號(hào) H01L21/683;H01L23/31;H01L23/498;H01L25/16;H01L21/48;H01L21/56 分類(lèi) 基本電氣元件;
發(fā)明人 王新;蔣振雷;陳堅(jiān) 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人 浙江卓晶科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京蘇高專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 代理人 柏尚春
地址 313113 浙江省湖州市長(zhǎng)興縣泗安鎮(zhèn)工業(yè)區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種三維扇出型集成封裝結(jié)構(gòu),包括至少兩層重新布線(xiàn)層,重新布線(xiàn)層為介電層,在介電層的兩側(cè)層面上有連接兩側(cè)進(jìn)行互相配合并形成互聯(lián)結(jié)構(gòu)的金屬連接結(jié)構(gòu),金屬連接結(jié)構(gòu)露出介電層作為金屬觸點(diǎn),重新布線(xiàn)層的一側(cè)設(shè)置塑封層,塑封層內(nèi)塑封有芯片或無(wú)源被動(dòng)元件,相鄰的重新布線(xiàn)層之間通過(guò)金屬導(dǎo)電柱連接。本發(fā)明還公開(kāi)了此種三維扇出型集成封裝結(jié)構(gòu)的封裝工藝。采用發(fā)明的設(shè)計(jì)方案,可以把尺寸大小各異的無(wú)源器件與裸晶片同時(shí)集成封裝,大大提高了集成度,對(duì)于wifi,PA,PMU等類(lèi)型的使用大量無(wú)源器件的應(yīng)用尤為適合,同時(shí),三維堆疊方式大大縮小了封裝面積。