一種碳化硅用拋光液的制備和使用方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201010591103.1 申請日 -
公開（公告）號 CN102127371A 公開（公告）日 2011-07-20
申請公布號 CN102127371A 申請公布日 2011-07-20
分類號 C09G1/02(2006.01)I;H01L21/304(2006.01)I 分類 染料；涂料；拋光劑；天然樹脂；黏合劑；其他類目不包含的組合物；其他類目不包含的材料的應用;
發(fā)明人 張賀;陳小龍;黃青松;王錫銘 申請（專利權）人 蘇州天科合達藍光半導體有限公司
代理機構 - 代理人 -
地址 215163 江蘇省蘇州市高新區(qū)科技城昆侖山路189號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種用于高質量拋光碳化硅晶片表面的拋光液、拋光液的制備方法以及使用該拋光液的方法。該拋光液由去離子水、二氧化硅拋光液、輔助氧化劑、pH調節(jié)劑配制而成。利用此方法配制的拋光液無氣味，分散均勻，狀態(tài)穩(wěn)定，無沉淀，可適當循環(huán)使用，加工晶片去除速率快，加工出的碳化硅晶片較光亮，50倍顯微鏡下觀測無明顯劃痕且平整、均與，表面粗糙度經原子力顯微鏡檢測可穩(wěn)定達到納米級。該拋光液的使用循環(huán)次數，可以通過改變加入輔助氧化劑和pH調節(jié)劑的量或者二者不同的比例來調節(jié)。