一種柔性砷化鎵太陽能電池芯片及其制作方法
基本信息
申請?zhí)?/td> | CN202011604325.2 | 申請日 | - |
公開(公告)號 | CN112713201B | 公開(公告)日 | 2021-08-27 |
申請公布號 | CN112713201B | 申請公布日 | 2021-08-27 |
分類號 | H01L31/0216;H01L31/054;H01L31/055;H01L31/18 | 分類 | 基本電氣元件; |
發(fā)明人 | 魏婷婷;王兵;杜偉;黃輝廉;何鍵華 | 申請(專利權(quán))人 | 中山德華芯片技術(shù)有限公司 |
代理機構(gòu) | 廣州嘉權(quán)專利商標事務(wù)所有限公司 | 代理人 | 伍傳松 |
地址 | 528437 廣東省中山市火炬開發(fā)區(qū)火炬路22號之二第3-4層 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本發(fā)明公開了一種柔性砷化鎵太陽能電池芯片及其制作方法,柔性砷化鎵太陽能電池芯片包括:外延層;依次層疊設(shè)置于所述外延層下表面的第一電極、銅襯底及碳納米管薄膜;覆蓋于所述外延層上表面的減反射膜與接觸層;第二電極,設(shè)置于所述接觸層上表面。通過在銅襯底表面制備了一層碳納米管薄膜,利用碳納米管薄膜的材料特性,既保證了銅襯底的導(dǎo)電性,同時提升了銅的抗氧化能力,并對柔性芯片翹曲度有一定改善。 |
