一種適用于晶格失配外延材料的RT探測(cè)器及其應(yīng)用
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202110370564.4 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN113252205A | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-08-13 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN113252205A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-08-13 |
| 分類(lèi)號(hào) | G01K11/00;G01N21/55;H01L31/12 | 分類(lèi) | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 劉雪珍;張小賓;高熙隆;劉建慶;楊文奕 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 中山德華芯片技術(shù)有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 廣州嘉權(quán)專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 | 代理人 | 伍傳松 |
| 地址 | 528437 廣東省中山市火炬開(kāi)發(fā)區(qū)火炬路22號(hào)之二第3-4層 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)了一種適用于晶格失配外延材料的RT探測(cè)器及其應(yīng)用，該適用于晶格失配外延材料的RT探測(cè)器包含一個(gè)光源和若干個(gè)子接收器；所述若干個(gè)子接收器的分布方式為陣列式分布；所述光源用于發(fā)出入射光，所述入射光傳播到外設(shè)外延片表面形成光信號(hào)；所述子接收器用于接收由對(duì)應(yīng)外延片形成的光信號(hào)，并對(duì)所接收的光信號(hào)進(jìn)行光電轉(zhuǎn)換以獲得電信號(hào)；其實(shí)現(xiàn)了晶格失配結(jié)構(gòu)外延片生長(zhǎng)過(guò)程中生長(zhǎng)溫度的精確監(jiān)控。 |
