一種真空擴散用套管

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121204159.7 申請日 -
公開（公告）號 CN215486884U 公開（公告）日 2022-01-11
申請公布號 CN215486884U 申請公布日 2022-01-11
分類號 F04F9/00（2006.01）I 分類 液體變?nèi)菔綑C械；液體泵或彈性流體泵;
發(fā)明人 徐愛民;顧標琴 申請（專利權(quán)）人 江蘇揚杰潤奧半導(dǎo)體有限公司
代理機構(gòu) 南京源點知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 潘云峰
地址 225000江蘇省揚州市廣陵產(chǎn)業(yè)園創(chuàng)業(yè)路
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型屬于半導(dǎo)體制備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種真空擴散用套管。其包括管體及兩立板，兩立板相對設(shè)置固定在管體內(nèi)壁，與管體形成半包圍空間。本實用新型用于解決放置操作繁瑣的問題，利用在管體內(nèi)豎立的兩立板形成一半包圍空間，將需要擴散用的擴散源放置其中，避免了重復(fù)放置坩堝，再在坩堝中放置擴散源的問題，節(jié)省了操作步驟，提高操作效率，降低了生產(chǎn)成本。