一種噴硼夾具

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202121186468.6 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN214797371U 公開(kāi)（公告）日 2021-11-19
申請(qǐng)公布號(hào) CN214797371U 申請(qǐng)公布日 2021-11-19
分類(lèi)號(hào) H01L21/687（2006.01）I;H01L21/22（2006.01）I 分類(lèi) 基本電氣元件;
發(fā)明人 徐愛(ài)民;顧標(biāo)琴;繆星曄 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 江蘇揚(yáng)杰潤(rùn)奧半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京源點(diǎn)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 潘云峰
地址 225000江蘇省揚(yáng)州市廣陵產(chǎn)業(yè)園創(chuàng)業(yè)路
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型屬于半導(dǎo)體制作器具技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種噴硼夾具。其包括底座及壓環(huán)，壓環(huán)底面設(shè)置有與底座外周匹配的限位臺(tái)階，壓環(huán)用于限位放置于底座表面的硅片。本實(shí)用新型用于解決噴硼時(shí)硅片如何固定夾持的問(wèn)題。壓環(huán)通過(guò)底面的限位臺(tái)階與底座匹配套接，通過(guò)壓環(huán)與底座相互匹配限制住放置在底座上的硅片，保證硅片在噴硼時(shí)保持穩(wěn)定。