一種噴硼夾具

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121186468.6 申請日 -
公開（公告）號 CN214797371U 公開（公告）日 2021-11-19
申請公布號 CN214797371U 申請公布日 2021-11-19
分類號 H01L21/687（2006.01）I;H01L21/22（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 徐愛民;顧標琴;繆星曄 申請（專利權(quán)）人 江蘇揚杰潤奧半導(dǎo)體有限公司
代理機構(gòu) 南京源點知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 潘云峰
地址 225000江蘇省揚州市廣陵產(chǎn)業(yè)園創(chuàng)業(yè)路
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型屬于半導(dǎo)體制作器具技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種噴硼夾具。其包括底座及壓環(huán)，壓環(huán)底面設(shè)置有與底座外周匹配的限位臺階，壓環(huán)用于限位放置于底座表面的硅片。本實用新型用于解決噴硼時硅片如何固定夾持的問題。壓環(huán)通過底面的限位臺階與底座匹配套接，通過壓環(huán)與底座相互匹配限制住放置在底座上的硅片，保證硅片在噴硼時保持穩(wěn)定。