一種磷擴(kuò)散硅舟

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202121483065.8 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN215496651U 公開（公告）日 2022-01-11
申請(qǐng)公布號(hào) CN215496651U 申請(qǐng)公布日 2022-01-11
分類號(hào) H01L21/673（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 徐愛民;顧標(biāo)琴 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 江蘇揚(yáng)杰潤(rùn)奧半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京源點(diǎn)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 潘云峰
地址 225000江蘇省揚(yáng)州市廣陵產(chǎn)業(yè)園創(chuàng)業(yè)路
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型屬于半導(dǎo)體制作設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種磷擴(kuò)散硅舟。其包括舟本體，沿舟本體軸向間隔開設(shè)有若干組卡槽，卡槽包括間隔設(shè)置的槽一和槽二，槽一和槽二用于放置相背而立的硅片，槽一和槽二間距設(shè)置為d，兩相鄰卡槽間距設(shè)置為D，D大于d。本實(shí)用新型用于解決磷擴(kuò)散效率低的問題。由于在硅片在進(jìn)行磷擴(kuò)散時(shí)，硅片的陽極面不需要接觸擴(kuò)散源，則將每組卡槽中的槽一和槽二的間距設(shè)置為小于兩相鄰卡槽的間距，而槽一和槽二中相背放置了兩陽極面相對(duì)的硅片，減小了相背放置兩硅片之間的間距，減少整個(gè)硅舟的長(zhǎng)度，提高硅舟的承載能力，同樣的擴(kuò)散系統(tǒng)中可以放入更多的硅舟用于擴(kuò)散，提高了磷擴(kuò)散效率。