一種擴(kuò)散爐用擾流裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120909439.1 申請日 -
公開（公告）號 CN215481425U 公開（公告）日 2022-01-11
申請公布號 CN215481425U 申請公布日 2022-01-11
分類號 C30B31/16（2006.01）I;C30B31/18（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 徐愛民;顧標(biāo)琴 申請（專利權(quán)）人 江蘇揚(yáng)杰潤奧半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京源點(diǎn)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 黃啟兵
地址 225000江蘇省揚(yáng)州市廣陵產(chǎn)業(yè)園創(chuàng)業(yè)路
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型屬于半導(dǎo)體制作設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種擴(kuò)散爐用擾流裝置。其包括迎風(fēng)板、背風(fēng)板及連接桿，迎風(fēng)板上周向間隔布置有若干進(jìn)氣孔，背風(fēng)板上周向間隔設(shè)置有若干出氣孔，出氣孔半徑小于進(jìn)氣孔，連接桿連接迎風(fēng)板和背風(fēng)板。本實(shí)用新型用于解決保持硅片擴(kuò)散一致性困難的問題。迎風(fēng)板上設(shè)置的進(jìn)氣孔將爐管內(nèi)流經(jīng)的氣體保證通過大部分，通過連接桿與迎風(fēng)板連接的背風(fēng)板上的孔徑小于進(jìn)氣孔的出氣孔再次將氣體進(jìn)行均勻分流，經(jīng)過進(jìn)氣孔和出氣孔的氣體能夠較好的保持穩(wěn)定的流速和流量大小，保證后續(xù)硅片在擴(kuò)散時(shí)的一致性。