一種合成三氯氫硅用導(dǎo)熱油過濾循環(huán)系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201320104279.9 申請日 -
公開（公告）號 CN203222487U 公開（公告）日 2013-10-02
申請公布號 CN203222487U 申請公布日 2013-10-02
分類號 C01B33/107(2006.01)I 分類 無機化學(xué);
發(fā)明人 李俊;朱寶毅;陳惟勤;劉芳 申請（專利權(quán)）人 江西景德半導(dǎo)體新材料有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 333000 江西省景德鎮(zhèn)市高新區(qū)梧桐大道6號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及一種合成三氯氫硅用導(dǎo)熱油過濾循環(huán)系統(tǒng)，包括導(dǎo)熱油加熱裝置（4）、導(dǎo)熱油降溫裝置（5）、流化床反應(yīng)器（2）、指形管（1）、導(dǎo)熱油泵（6），所述導(dǎo)熱油加熱裝置（4）通過管道一（9）與設(shè)置在流化床反應(yīng)器（2）內(nèi)的指形管（1）相連接，所述指形管（1）通過管道二（12）與導(dǎo)熱油降溫裝置入油管（10）和導(dǎo)熱油泵入油管（11）相連接，所述導(dǎo)熱油降溫裝置出油管（13）和導(dǎo)熱油泵出油管（14）分別與管道（9）相連，所述管道二（12）上連接有過濾器（3）。本導(dǎo)熱油過濾循環(huán)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡單、性能穩(wěn)定、杜絕了三氯氫硅合成過程中導(dǎo)熱油管道堵塞現(xiàn)象的出現(xiàn)，因此該系統(tǒng)具有廣闊的市場前景。