一種HCl尾氣中氯硅烷去除系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201320104283.5 申請日 -
公開（公告）號 CN203222476U 公開（公告）日 2013-10-02
申請公布號 CN203222476U 申請公布日 2013-10-02
分類號 C01B7/07(2006.01)I 分類 無機化學;
發(fā)明人 游鵬程;王啟海;陳長海;胡有平;陳義龍 申請（專利權）人 江西景德半導體新材料有限公司
代理機構 - 代理人 -
地址 333000 江西省景德鎮(zhèn)市高新區(qū)梧桐大道6號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及一種HCl尾氣中氯硅烷去除系統(tǒng)，包括洗滌罐（3）、文丘里洗滌器（2）、液位計（5）、泵（9）、過濾器（8）、HCl尾氣輸入管道（1）、飽和濃酸輸入管道（6），飽和濃酸循環(huán)管道（10）、飽和濃酸輸出管道（7）、HCl氣體排出管道（4）、固體顆粒排出管道（11），本系統(tǒng)利用飽和濃酸經文丘里洗滌器循環(huán)洗滌HCl尾氣，將HCl尾氣中氯硅烷水解，避免了HCl氣體將固體水解物帶入HCl吸收裝置，極大降低了酸中固體雜質的含量，該系統(tǒng)既簡化了生產工藝，又提高了生產效率，因此該系統(tǒng)具有廣闊的市場前景。