一種維持隔膜壓縮機(jī)壓力平衡系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201320104316.6 申請日 -
公開(公告)號 CN203223368U 公開(公告)日 2013-10-02
申請公布號 CN203223368U 申請公布日 2013-10-02
分類號 F04B49/08(2006.01)I 分類 液體變?nèi)菔綑C(jī)械;液體泵或彈性流體泵;
發(fā)明人 朱寶毅;鄧新貴;李俊;陳惟勤;劉芳 申請(專利權(quán))人 江西景德半導(dǎo)體新材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 333000 江西省景德鎮(zhèn)市高新區(qū)梧桐大道6號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及一種維持隔膜壓縮機(jī)壓力平衡系統(tǒng),包括壓縮機(jī)前緩沖罐(1)、壓縮機(jī)后緩沖罐(2)、壓縮機(jī)(3)、低壓工藝氣體導(dǎo)入管道(4)、高壓工藝氣體補(bǔ)充管道(5)、工藝氣體導(dǎo)出管道(6)、工藝氣體壓力平衡連接管道(10),所述工藝氣體壓力平衡連接管道(10)上設(shè)置有閥門(9)和自動(dòng)調(diào)節(jié)閥(7),所述閥門(9)和自動(dòng)調(diào)節(jié)閥(7)之間設(shè)置有惰性氣體導(dǎo)入管道(8),本實(shí)用新型利用補(bǔ)充惰性氣體的方法,避免開啟壓縮機(jī)自身平衡系統(tǒng),既保證了系統(tǒng)的輸出,又防止了因補(bǔ)充高壓工藝氣體攜帶微量雜質(zhì),而導(dǎo)致壓縮機(jī)的膜片損壞的情況發(fā)生,該系統(tǒng)既簡化了生產(chǎn)工藝,又提高了生產(chǎn)效率,因此該系統(tǒng)具有廣闊的市場前景。