一種藍(lán)寶石單晶生長爐爐體冷卻系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201320861646.X 申請日 -
公開（公告）號 CN203653759U 公開（公告）日 2014-06-18
申請公布號 CN203653759U 申請公布日 2014-06-18
分類號 C30B29/20(2006.01)I;C30B35/00(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 于國建;張婉君;劉耀華;劉星;高玉強(qiáng) 申請（專利權(quán)）人 中國光大銀行股份有限公司濟(jì)南分行
代理機(jī)構(gòu) 濟(jì)南舜源專利事務(wù)所有限公司 代理人 山東天岳先進(jìn)材料科技有限公司
地址 250000 山東省濟(jì)南市歷下區(qū)高新開發(fā)區(qū)新濼大街2008號銀荷大廈3-409
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種藍(lán)寶石單晶生長爐爐體冷卻系統(tǒng)，包括爐體和爐膛，所述爐體上部設(shè)置有爐蓋Ⅰ和爐蓋Ⅱ，所述爐體由隔板Ⅰ均勻分為至少四個(gè)腔體，每個(gè)腔體上設(shè)置有進(jìn)水口Ⅰ和出水口Ⅰ；所述爐蓋Ⅰ內(nèi)由隔板Ⅱ分為兩部分，所述隔板Ⅱ兩側(cè)設(shè)置有進(jìn)水口Ⅱ和出水口Ⅱ；所述爐蓋Ⅱ?yàn)橹锌?，所述爐蓋Ⅱ上設(shè)置有進(jìn)水口Ⅲ和出水口Ⅲ；所述爐蓋Ⅱ上設(shè)置有觀察口Ⅰ和觀察口Ⅱ。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單、方便實(shí)用，通過調(diào)節(jié)進(jìn)出水口處的冷卻循環(huán)水的流速來調(diào)控溫場，避免了溫場分布不均勻出現(xiàn)的藍(lán)寶石單晶粘鍋現(xiàn)象，從而生長出高質(zhì)量的藍(lán)寶石單晶，提高了晶體的合格率，降低了生產(chǎn)成本。