一種鍺基底8-12um紅外波段窗口片及其制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111505244.1 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN114200552A 公開(kāi)（公告）日 2022-03-18
申請(qǐng)公布號(hào) CN114200552A 申請(qǐng)公布日 2022-03-18
分類號(hào) G02B1/115（2015.01）I;C23C14/26（2006.01）I;C23C14/30（2006.01）I;C23C14/58（2006.01）I;C23C14/02（2006.01）I;C23C14/06（2006.01）I;C23C14/16（2006.01）I;C23C14/22（2006.01）I 分類 光學(xué);
發(fā)明人 崔丁方;錢海東;陳琳;楊康;李俊儀;王博文;姜俊;王爽;劉勇 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 云南馳宏國(guó)際鍺業(yè)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京名華博信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 薛飛
地址 655011云南省曲靖市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種鍺基底8?12um紅外波段窗口片及其制備方法，屬于紅外光學(xué)領(lǐng)域。所述窗口片以單晶鍺為基底，基底的正反兩面均鍍有相同的紅外增透膜系結(jié)構(gòu)；正反面的紅外增透膜膜系結(jié)構(gòu)均為：基底/0.281Ge/0.475ZnSe/0.4641Ge/0.644ZnSe/0.578YbF3/0.126ZnS/空氣。根據(jù)光的干涉相消和干涉相長(zhǎng)的原理，使用多層膜結(jié)構(gòu)可以使光的干涉相長(zhǎng)達(dá)到最大，進(jìn)而最大化的提高鍍膜鏡片的透過(guò)率。在透過(guò)率方面，由于Ge、YbF3、ZnS等鍍膜材料在該透光波段內(nèi)均存在吸收，同時(shí)各膜層之間的張壓應(yīng)力也對(duì)波段內(nèi)的光存在吸收，本發(fā)明將有吸收的膜層厚度降至最低同時(shí)在第二層和第四層鍍膜采用透光性能更加完善的ZnSe材料，以此提高透過(guò)率，并在鍍膜過(guò)程中采用離子源助鍍及離子源鍍前、鍍后轟擊的方式來(lái)降低膜層應(yīng)力以減少吸收提高透過(guò)率的同時(shí)增強(qiáng)膜層強(qiáng)度。