一種薄膜體聲波諧振器及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210374871.4 申請日 -
公開（公告）號 CN114759897A 公開（公告）日 2022-07-15
申請公布號 CN114759897A 申請公布日 2022-07-15
分類號 H03H9/02（2006.01）I;H03H3/02（2006.01）I 分類 基本電子電路;
發(fā)明人 高安明;姜偉 申請（專利權(quán)）人 浙江星曜半導體有限公司
代理機構(gòu) 溫州知遠專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 -
地址 325000浙江省溫州市溫州浙南科技城創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)新天地一期1號樓506室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種薄膜體聲波諧振器及其制備方法，屬于薄膜體聲波諧振器技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明通過在諧振器中采用空氣腔，在硅襯底和諧振器震蕩區(qū)域之間形成金屬和空氣的交界面，從而在限制聲波于震蕩堆內(nèi)的同時，解決了常規(guī)聲波諧振器機械強度低的問題；通過對諧振器的頂電極進行特殊設(shè)計，采用具有凹陷和凸起的形狀，解決了常規(guī)薄膜體聲波諧振器Q值較低，雜散模較多的問題，從而有效的改善諧振器的陡峭性和插入損耗，并使得諧振器的頻率響應(yīng)更加平滑；通過在諧振器的頂電極上方額外引入一層壓電材料作為鈍化層，從而有效的隔絕諧振器震蕩堆與外界環(huán)境，解決了常規(guī)薄膜體聲波諧振器容易受外界環(huán)境影響，穩(wěn)定性差的問題。