一種薄膜體聲波諧振器及其制備方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202210374871.4 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN114759897A | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-07-15 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN114759897A | 申請(qǐng)公布日 | 2022-07-15 |
| 分類號(hào) | H03H9/02（2006.01）I;H03H3/02（2006.01）I | 分類 | 基本電子電路; |
| 發(fā)明人 | 高安明;姜偉 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 浙江星曜半導(dǎo)體有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 溫州知遠(yuǎn)專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 325000浙江省溫州市溫州浙南科技城創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)新天地一期1號(hào)樓506室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)了一種薄膜體聲波諧振器及其制備方法，屬于薄膜體聲波諧振器技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明通過(guò)在諧振器中采用空氣腔，在硅襯底和諧振器震蕩區(qū)域之間形成金屬和空氣的交界面，從而在限制聲波于震蕩堆內(nèi)的同時(shí)，解決了常規(guī)聲波諧振器機(jī)械強(qiáng)度低的問(wèn)題；通過(guò)對(duì)諧振器的頂電極進(jìn)行特殊設(shè)計(jì)，采用具有凹陷和凸起的形狀，解決了常規(guī)薄膜體聲波諧振器Q值較低，雜散模較多的問(wèn)題，從而有效的改善諧振器的陡峭性和插入損耗，并使得諧振器的頻率響應(yīng)更加平滑；通過(guò)在諧振器的頂電極上方額外引入一層壓電材料作為鈍化層，從而有效的隔絕諧振器震蕩堆與外界環(huán)境，解決了常規(guī)薄膜體聲波諧振器容易受外界環(huán)境影響，穩(wěn)定性差的問(wèn)題。 |
