諧振器及諧振器的制作方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210367023.0 申請日 -
公開（公告）號 CN114665839A 公開（公告）日 2022-06-24
申請公布號 CN114665839A 申請公布日 2022-06-24
分類號 H03H9/17（2006.01）I;H03H9/13（2006.01）I;H03H9/02（2006.01）I;H03H3/02（2006.01）I 分類 基本電子電路;
發(fā)明人 高安明;姜偉 申請（專利權(quán)）人 浙江星曜半導(dǎo)體有限公司
代理機構(gòu) 北京同立鈞成知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 -
地址 325038浙江省溫州市浙南科技城創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)新天地一期1號樓506室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明實施例屬于電子器件技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種諧振器及諧振器的制作方法。包括襯底和依次層疊設(shè)置在襯底上的下電極層、壓電層以及上電極層，襯底設(shè)置有懸空腔體，下電極層、壓電層以及上電極層的重疊區(qū)域構(gòu)成有效區(qū)域，上電極層具有凹陷結(jié)構(gòu)，上電極層背離襯底的一側(cè)還覆蓋有凸起結(jié)構(gòu)，凹陷結(jié)構(gòu)和凸起結(jié)構(gòu)均位于有效區(qū)域內(nèi)，在平行于襯底的方向上，凹陷結(jié)構(gòu)與凸起結(jié)構(gòu)之間具有預(yù)設(shè)距離。通過在凹陷結(jié)構(gòu)和凸起結(jié)構(gòu)之間設(shè)置預(yù)設(shè)距離，有利于調(diào)整雜散模的整體的抑制效果，從而提高諧振器性能。